热式气体质量流量计基于热扩散原理，即利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量成一定的比例关系，具体来说，流量计的传感器有两支标准级的RTD，一支用来做热源，一支用来测量流体温度，流体经过时，热源的热量损失与流量的大小成线性关系，热式气体质量流量计就可以把这种关系转换成测量流量信号的线性输出。

利用热扩散原理制造的流量计有两种设计方法，基于共同的模型，如图：

P/ΔT=D+Eq^k_m

其中 P--耗散功率

ΔT--两个传感器间的温度差

D--与实际流动有关的常数

E--与测量气体的热性能有关的常数

q _m--质量流量

K--指数系数

温度传感器（RTD）分别置于气流中两种金属细管内，一热电阻测得气流温度T ,另一细管经功率恒定的电热加热，其温度Tv高于气流温度，气体静止时Tv最高，随之质量流速pU增加，气流带走更多热量，温度下降，测得温度差ΔT=Tv-T，这种方法称作“温度差测量法”或“温度测量法”。